德克威爾自動(dòng)化RS系列多功能一體式I/O助力半導(dǎo)體行業(yè)顯影涂膠更精密
【ZiDongHua之“半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈”收錄關(guān)鍵詞:德克威爾 工業(yè)自動(dòng)化 SCADA PLC 】
應(yīng)用案例|RS系列多功能一體式I/O助力半導(dǎo)體行業(yè)顯影涂膠更精密!


客戶(hù)評(píng)價(jià):
德克威爾RS系列模塊抗干擾能力強(qiáng),能幫助我們精準(zhǔn)調(diào)控各類(lèi)參數(shù),保證數(shù)據(jù)傳輸穩(wěn)定,與PLC協(xié)同作業(yè)高效流暢,為顯影涂膠精準(zhǔn)度與效率提升給予堅(jiān)實(shí)保障。
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行業(yè)解析
顯影涂膠
在半導(dǎo)體、PCB等電子制造領(lǐng)域,顯影涂膠是不可或缺的工序。顯影過(guò)程將光刻膠中的曝光部分去除,從而在基板上形成精確的圖案;而涂膠則是在基板表面均勻地覆蓋一層光刻膠,為后續(xù)的光刻步驟做準(zhǔn)備。這兩個(gè)步驟的精度和穩(wěn)定性,直接決定了最終產(chǎn)品的線(xiàn)路精度、電氣性能等關(guān)鍵指標(biāo)。

隨著電子產(chǎn)品朝著小型化、高性能化發(fā)展,顯影涂膠工藝面臨著諸多挑戰(zhàn)。一方面,對(duì)涂膠厚度的均勻性和圖案精度要求越來(lái)越高,傳統(tǒng)設(shè)備難以滿(mǎn)足高精度的生產(chǎn)需求;另一方面,生產(chǎn)效率和設(shè)備穩(wěn)定性也是制約行業(yè)發(fā)展的重要因素。
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現(xiàn)場(chǎng)痛點(diǎn)
RS系列輕松解決
在實(shí)際生產(chǎn)中,許多企業(yè)使用的傳統(tǒng)顯影涂膠設(shè)備暴露出了一系列問(wèn)題。
痛點(diǎn)1:無(wú)法精確控制
實(shí)際顯影涂膠工藝中,單個(gè)工位往往需要數(shù)字量與模擬量混合使用,對(duì)模塊的兼容性要求極高。在一些高精度芯片制造中,哪怕是微小的厚度偏差,都可能導(dǎo)致芯片性能下降甚至報(bào)廢。
RS系列:
采用分體式設(shè)計(jì),可任意選擇面板。長(zhǎng)款底座設(shè)計(jì)精妙,支持兩個(gè)插槽同時(shí)運(yùn)作,完美兼容數(shù)字量與模擬量的混合運(yùn)用。
這意味著在處理復(fù)雜的顯影涂膠任務(wù)時(shí),能夠精準(zhǔn)調(diào)控各類(lèi)參數(shù),比如通過(guò)精確的數(shù)字量控制實(shí)現(xiàn)對(duì)涂膠位置的精準(zhǔn)定位,利用模擬量的連續(xù)變化特性精細(xì)調(diào)整涂膠的流量與速度,極大地提升了顯影涂膠的精度,成功適配了工藝端對(duì)高精度的嚴(yán)苛要求。
痛點(diǎn)2:效率低下
設(shè)備的運(yùn)行速度慢,生產(chǎn)周期長(zhǎng),無(wú)法滿(mǎn)足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。特別是在市場(chǎng)需求旺盛時(shí),產(chǎn)能不足成為企業(yè)發(fā)展的瓶頸。
RS系列:
1.數(shù)據(jù)傳輸速度可達(dá)100Mbps,信號(hào)傳輸穩(wěn)定可靠,響應(yīng)時(shí)間在11μs內(nèi),設(shè)備運(yùn)行速度相比傳統(tǒng)設(shè)備提升了50%,大大提高了生產(chǎn)效率;
2.分體式設(shè)計(jì),可靈活配置,為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化提供了高效、可靠的解決方案。
痛點(diǎn)3:穩(wěn)定性差
設(shè)備頻繁出現(xiàn)故障,需要大量的維護(hù)和維修工作,不僅增加了生產(chǎn)成本,還影響了生產(chǎn)計(jì)劃的順利進(jìn)行。
RS系列:
1.采用高品質(zhì)的硬件組件和嚴(yán)格的質(zhì)量檢測(cè)流程,其EMC測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)遠(yuǎn)超國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),能有效抵御電磁干擾,確保設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中穩(wěn)定可靠;
2.具有先進(jìn)的故障診斷系統(tǒng),能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備狀態(tài),提前預(yù)警潛在故障,降低設(shè)備故障率,減少維護(hù)成本;
3.擁有熱插拔功能,在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中可直接插拔模塊,無(wú)需停機(jī),大大降低了維護(hù)難度和成本,提高了維護(hù)效率。
/03
德克威爾方案
顯影涂膠控制系統(tǒng)
西門(mén)子1200 PLC結(jié)合我司的RS系列I/O模塊,構(gòu)成了一套高效的顯影涂膠控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)能夠接收多種傳感器信號(hào),如溫度傳感器、濕度傳感器和涂膠厚度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)涂膠過(guò)程的環(huán)境條件與涂層質(zhì)量。
PLC根據(jù)這些數(shù)據(jù)精確控制負(fù)載,包括涂膠機(jī)的攪拌電動(dòng)機(jī)、噴涂系統(tǒng)和加熱裝置,從而優(yōu)化涂膠效果,確保涂層均勻性和穩(wěn)定性。通過(guò)這種智能化的監(jiān)測(cè)與控制,顯影涂膠工藝能夠提高生產(chǎn)效率,確保產(chǎn)品質(zhì)量。
具體配置:
主站:西門(mén)子PLC
適用工藝段:顯影涂膠
項(xiàng)目I/O配置:1*RS-PN2+4*16DI+4*16DO+1*8AI
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