【ZiDongHua之自動化學(xué)院派收錄關(guān)鍵詞:精密光學(xué) 集成電路 納米計量】
 
  祝賀!我院本科生團(tuán)隊榮獲第十四屆“挑戰(zhàn)杯”中國大學(xué)生創(chuàng)業(yè)計劃競賽全國銅獎!
 
  近日,同濟(jì)大學(xué)一大批學(xué)生科創(chuàng)成果亮相第十四屆“挑戰(zhàn)杯”中國大學(xué)生創(chuàng)業(yè)計劃競賽,共摘得金獎1項、銀獎1項、銅獎7項。其中,我院咫尺匠“芯”團(tuán)隊榮獲全國銅獎。
 
 
  作為物理學(xué)院優(yōu)勢獲獎項目,該項目展示了我院面向先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)“卡脖子“領(lǐng)域的最新科研進(jìn)展,充分體現(xiàn)了課程思政和前沿科研協(xié)同育人成效。同時,該項目的研究成果于2024年10月30日至31日參加了我國首屆計量儀器裝備展(2024),在同濟(jì)大學(xué)/國家集成電路微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)計量測試中心(上海)展臺展出。
 
 
  項目名稱:
 
  咫尺匠“芯”
 
  ——集成電路亞納米計量領(lǐng)軍者
 
  項目成員:
 
  朱宏宇、林子超、寧宣景、陳語彤、范本軒、王競晨、陳哲騁
 
  指導(dǎo)老師:
 
  鄧曉、薛棟柏
 
  項目簡介:
 
  納米計量是集成電路微納檢測設(shè)備量值溯源,誤差控制與測量準(zhǔn)確性的核心支撐。同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院“咫尺匠芯”團(tuán)隊通過揭示自然常數(shù)物化、量值傳遞的物理規(guī)律,確立了以“量值傳遞扁平化”為核心的納米計量創(chuàng)新思路。歷經(jīng)四年研發(fā),團(tuán)隊利用皮米級平均間距準(zhǔn)確性原子光刻光柵成功研制了極小非線性誤差的“自溯源型光柵干涉儀”。該儀器可以有效克服對嚴(yán)苛環(huán)境控制及空氣折射率校準(zhǔn)的依賴,具有優(yōu)于亞納米級的位移測量精度,并兼顧極高抗環(huán)境干擾能力的核心優(yōu)勢。研究成果現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)微型、集成化,有望為集成電路量測設(shè)備提供現(xiàn)場計量校準(zhǔn)方案。
 
  一路走來,團(tuán)隊成員們付出了大量心血,從項目構(gòu)想到方案設(shè)計,從反復(fù)論證到最終成果,每一步都充滿了挑戰(zhàn)與成長。學(xué)院的支持和指導(dǎo)老師的耐心幫助,使得團(tuán)隊在創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的道路上不斷前行,不斷突破,共創(chuàng)未來!
 
  祝賀他們!競賽雖落幕,創(chuàng)新不停歇,物理學(xué)子將砥礪前行,勇攀新高峰!
 
  轉(zhuǎn)載自公眾號|同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院