【ZiDongHua 之“自動(dòng)化學(xué)院派”收錄關(guān)鍵詞： 清華大學(xué) 集成電路  微納加工中心】

　　

　　清華大學(xué)微納加工中心新超凈實(shí)驗(yàn)室啟用

　　
　　9月15日，清華大學(xué)微納加工中心新超凈實(shí)驗(yàn)室啟用座談會(huì)在自強(qiáng)科技樓舉行。副校長(zhǎng)吳華強(qiáng)出席并主持座談會(huì)。
 
　　
　　座談會(huì)現(xiàn)場(chǎng)
　　
　　吳華強(qiáng)表示，微納加工中心要明確目標(biāo)，做好發(fā)展規(guī)劃，努力建設(shè)國(guó)際一流水平的標(biāo)桿實(shí)驗(yàn)室，在服務(wù)學(xué)校教學(xué)與科研方面發(fā)揮更大作用。要進(jìn)一步加強(qiáng)規(guī)范化管理，充分調(diào)研國(guó)內(nèi)外高水平實(shí)驗(yàn)室、調(diào)研用戶需求、調(diào)研新設(shè)備新實(shí)驗(yàn)手段，從空間應(yīng)用、中心發(fā)展等方面做更細(xì)致的規(guī)劃安排。
　　
　　集成電路學(xué)院副院長(zhǎng)、微納加工中心主任唐建石匯報(bào)了新超凈實(shí)驗(yàn)室建設(shè)和搬遷情況，以及中心下一步工作計(jì)劃。微納加工中心用戶代表，集成電路學(xué)院教授任天令和為先書院副院長(zhǎng)、材料學(xué)院教授宋成祝賀新超凈實(shí)驗(yàn)室正式啟用，希望中心不斷進(jìn)步，打造高水平科研平臺(tái)。
　　
　　基建處副處長(zhǎng)楊軍、實(shí)驗(yàn)室處副處長(zhǎng)屠中華、資產(chǎn)處處長(zhǎng)王玉英先后發(fā)言表示，將持續(xù)關(guān)注新超凈實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)運(yùn)行，希望中心進(jìn)一步發(fā)揮更大作用，逐步建成國(guó)際一流的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。集成電路學(xué)院相關(guān)負(fù)責(zé)人、微納加工中心用戶代表等30余人參加座談會(huì)。
　　
　　清華大學(xué)微納加工中心是校級(jí)教學(xué)科研實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，新超凈實(shí)驗(yàn)室擁有百級(jí)和千級(jí)的主超凈間面積2000平方米，同時(shí)管理800余平方米的萬級(jí)DIY實(shí)驗(yàn)室，可提供濕法與清洗、氧化、CVD、ALD、濺射蒸發(fā)、光刻、刻蝕、離子注入、封裝、測(cè)試、真空互聯(lián)等工藝與測(cè)試服務(wù)。