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- 基于壓力傳感器的溫度控制系統(tǒng)設(shè)計
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來源：網(wǎng)絡(luò)2012-9-14關(guān)鍵詞：工業(yè)自動化壓力傳感器溫度控制系統(tǒng) O引言 在微電子器件領(lǐng)域，針對SiC器件的研究較多，已經(jīng)取得了較大進(jìn)展，而在MEMS領(lǐng)域針對SiC器件的研究仍有許多問題亟待解決。在國內(nèi)，SiCMEMS的研究非常少，因而進(jìn)行SiC高
2012-09-14 11:52:12
