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- 白皮書 | TERPS助力半導體行業(yè)真空壓力測量
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德魯克Druck推出的TERPS(Trench Etched Resonant Pressure Sensor)技術(shù)基于單晶硅諧振原理,通過MEMS工藝將諧振式壓力傳感器的小型化、批量化與高精度結(jié)合起來
2025-03-25 15:01:11
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