-
- 艾邁斯歐司朗與愛思強(qiáng)攜手共進(jìn)|全自動AsP反應(yīng)器，提供全自動“檢測盒到檢測盒”晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機(jī)制
-
愛思強(qiáng)的新型G10-AsP外延工具經(jīng)過精心設(shè)計，旨在滿足這項應(yīng)用的特殊需求。這項全新工具是世界首款全自動AsP反應(yīng)器，提供全自動“檢測盒到檢測盒”晶圓裝載以及基于原位蝕刻的清潔機(jī)制。該新工具擁有精確的流量和溫度控制功能，能在連續(xù)運(yùn)行時保持非常好的材料均勻性。
2023-02-16 11:18:39
