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2009年03月18日　來源：新華網
  • 我國成功研發(fā)“零損傷”兆聲波半導體清洗設備
    我國成功研發(fā)“零損傷”兆聲波半導體清洗設備
    　　我國成功研發(fā)具有自主知識產權的“零損傷”兆聲波半導體清洗設備　　新華網上海３月１８日電（記者季明）正在上海舉行的中國半導體國際展上，盛美半導體設備（上海）有限公司展出了一臺十二英寸單片兆聲波清洗設備，這也是國內首臺具有自主知識

    2009-03-18 17:16:20