前沿 | 國產(chǎn)精密儀器打破壟斷!優(yōu)可測攜亞納米測量新技術(shù)亮相CIOE
【ZiDongHua 之“創(chuàng)新自化成”收錄關(guān)鍵詞: 光博會 精密儀器 傳感器 】
前沿 | 國產(chǎn)精密儀器打破壟斷!優(yōu)可測攜亞納米測量新技術(shù)亮相CIOE
在現(xiàn)代工業(yè)體系中,測量儀器雖常以 “小而精” 的形態(tài)存在,卻如同工業(yè)生產(chǎn)的 “神經(jīng)末梢” 與 “決策大腦” 的感知基石,以精密的量值傳遞能力深度滲透于產(chǎn)業(yè)脈絡(luò)之中。從產(chǎn)品研發(fā)階段的參數(shù)驗證,到生產(chǎn)環(huán)節(jié)的工藝控制,再到加工過程的精度校準(zhǔn),這類核心基礎(chǔ)設(shè)施貫穿于全生命周期的每個節(jié)點,成為保障質(zhì)量可靠性、提升生產(chǎn)效率、驅(qū)動技術(shù)創(chuàng)新、加速產(chǎn)業(yè)升級、優(yōu)化資源配置及筑牢安全防線的關(guān)鍵支撐。
其應(yīng)用場景已延伸至國民經(jīng)濟(jì)各重點領(lǐng)域。例如,在精密光學(xué)領(lǐng)域,用于透鏡曲率、鍍膜厚度的納米級測量;半導(dǎo)體制造中,承擔(dān)晶圓平整度、刻蝕線寬的在線監(jiān)測;3C產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)節(jié),實現(xiàn)屏幕像素間距、殼體公差的微米級把控。此外,精密加工、電子元器件、PCB、材料、刀具、生物醫(yī)學(xué)、新能源、汽車、電機等多領(lǐng)域中,均依賴測量儀器構(gòu)建起的精準(zhǔn)量值體系。
對于正處于由“制造大國”向“制造強國”邁進(jìn)關(guān)鍵階段的中國而言,大力發(fā)展先進(jìn)測量技術(shù)和高端測量儀器產(chǎn)業(yè),構(gòu)建強大的國家現(xiàn)代先進(jìn)測量體系,具有不可替代的戰(zhàn)略意義和巨大的經(jīng)濟(jì)價值。
板石智能科技(深圳)有限公司成立于2020年,總部位于深圳,國家級專精特新“小巨人”和高新技術(shù)企業(yè),專注于為全球客戶提供精密測量儀器與半導(dǎo)體檢測設(shè)備。目前,板石智能旗下優(yōu)可測品牌產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、航空航天、 3C電子、5G通訊、新能源、生物醫(yī)療等領(lǐng)域,為華為海思、寧德時代、高意、光迅科技、博眾精工、中國科學(xué)院、奧特斯、深南電路、景旺電子、華天科技等眾多知名企業(yè)提供穩(wěn)定可靠的服務(wù)。
2025年9月10-12日,優(yōu)可測將攜白光干涉儀AM系列、一鍵式影像測量儀FM系列、超景深顯微鏡AH系列、納米光學(xué)膜厚測量儀AF系列、光譜共焦位移傳感器AP系列,3D線激光測量儀AR系列、激光位移傳感器SL系列、線光譜共焦位移傳感器AS系列等全系產(chǎn)品,亮相CIOE精密光學(xué)展&攝像頭技術(shù)及應(yīng)用展3號館3A50展位,點擊領(lǐng)取參觀證件,直達(dá)展位交流技術(shù)、洽談業(yè)務(wù)。
參展產(chǎn)品展示
白光干涉儀AM-8000系列
優(yōu)可測白光干涉儀AM-8000是一款在應(yīng)用場景、智能化操作、測量穩(wěn)定性三大維度上均能全面對標(biāo)世界頂級品牌的旗艦白光干涉儀。它支持適配更多倍率的鏡頭,搭載了4自由度直驅(qū)電控平臺,增加了循環(huán)測量、批量導(dǎo)出測量報告、對焦曲線、提取評比ROI等功能,并擁有超過300+的測量工具,如面粗糙度、輪廓分析、紋理方向、粒子分析、紋理均質(zhì)性等,更好地滿足各行業(yè)的應(yīng)用需求。AM-8000搭載了“PreciTrack條紋自動對焦”功能,工程師只要擺放好物體,點擊一鍵對焦,即可在5秒內(nèi)完成對焦+尋找干涉條紋,效率上是手動對焦操作的7倍。AM8000搭載行業(yè)首創(chuàng)的“EquiDrive自動調(diào)平”功能,它能在5秒內(nèi)完成調(diào)平,將測量范圍內(nèi)的干涉條紋數(shù)量降至1或0,效率是手動調(diào)平操作的8倍。AM8000采用了內(nèi)置式氣浮緩沖機構(gòu),將整個隔振機構(gòu)和工作臺包裹住,同時通過獨創(chuàng)的低重心設(shè)計,大幅降低了環(huán)境振動對設(shè)備的影響。

白光干涉儀AM-7000系列
優(yōu)可測白光干涉儀AM-7000系列是一款基于白光干涉原理的高精度三維形貌測量設(shè)備,具備亞納米級精度和高效檢測能力,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源、醫(yī)療器材、電子電路、光學(xué)元件等領(lǐng)域。它擁有亞納米級測量精度,垂直分辨率高達(dá)0.03nm,RMS重復(fù)性達(dá)0.002nm,可捕捉微觀表面形貌的細(xì)微變化。
AM7000系列搭配納米壓電陶瓷器件,掃描速度最高達(dá)400μm/s,單次檢測最快僅需1秒。它搭載了SST+GAT算法(3200Hz高頻采樣),瞬間完成500萬點云采集,實現(xiàn)三維形貌的快速重建與分析。

一鍵式影像測量儀FM系列
優(yōu)可測一鍵式影像測量儀FM系列是一款基于高分辨率成像與智能算法的二維尺寸快速測量設(shè)備,專為工業(yè)質(zhì)檢場景設(shè)計,以“一鍵操作、批量檢測、超高效率” 為核心優(yōu)勢,大幅提升生產(chǎn)過程中的尺寸檢測效率。
FM系列單次可同時測量100個樣品,支持多達(dá)1000個尺寸參數(shù)的提取,且測量時間不隨樣本量增加而顯著延長。
FM系列搭載2000萬像素黑白CMOS相機,結(jié)合0.005亞像素級邊緣提取算法,實現(xiàn)微米級(±1.5μm)精度,重復(fù)精度達(dá)±0.4μm。

超景深顯微鏡AH系列
優(yōu)可測超景深顯微鏡AH系列是優(yōu)可測推出的新一代智能顯微系統(tǒng),融合高分辨率成像、智能算法與自動化操作,致力于解決工業(yè)質(zhì)檢與科研領(lǐng)域?qū)ξ⒂^觀測的高效、精準(zhǔn)需求。
AH系列通過整合超景深成像技術(shù)與三維測量功能,單臺設(shè)備可替代傳統(tǒng)體式顯微鏡、金相顯微鏡和工具顯微鏡,顯著降低設(shè)備采購與維護(hù)成本。
AH系列采用自研“STC智能高清算法”,實現(xiàn)多焦面圖像快速合成,克服傳統(tǒng)顯微鏡景深不足的局限,支持360°無死角高清觀察,真實還原微觀結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)。
納米光學(xué)膜厚測量儀AF系列
優(yōu)可測薄膜厚度測量儀AF系列是專為納米至微米級薄膜的精準(zhǔn)測量而設(shè)計。其核心價值在于突破傳統(tǒng)設(shè)備的精度與效率瓶頸,為半導(dǎo)體、新能源、精密光學(xué)等前沿領(lǐng)域提供關(guān)鍵質(zhì)檢支持。
AF系列薄膜厚度測量儀通過發(fā)射多波長光波穿透薄膜,薄膜上下表面的反射光因相位差產(chǎn)生建設(shè)性/破壞性干涉,形成特定反射光譜,通過比對實測反射率曲線與理論模型(輸入材料光學(xué)參數(shù)n,k值),利用分波段擬合算法精準(zhǔn)解析相位差,反推出膜厚d值。該算法針對紫外波段優(yōu)化,顯著降低偏差,實現(xiàn)0.1nm精度(分辨率達(dá)1Å)。
AF系列薄膜厚度測量儀不僅適用于透明/半透明膜層(如光刻膠、PI膜),對超薄金屬膜(如3.5nm鎳膜)亦可穿透測量。
“以精密測量探索人類未來”為使命,以“成為精密測量引領(lǐng)者”為愿景,板石智能將在精密測量、半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域不斷創(chuàng)新,以產(chǎn)品技術(shù)重新定義“中國智造”內(nèi)涵,為中國儀器崛起貢獻(xiàn)板石力量。
優(yōu)可測將于9月10-12日攜眾多新產(chǎn)品新技術(shù)亮相CIOE精密光學(xué)展&攝像頭技術(shù)及應(yīng)用展3號館3A50展位,點擊領(lǐng)取參觀證件,直達(dá)展位交流技術(shù)、洽談業(yè)務(wù)。
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