【邁出集成電路制造輔助設備國產(chǎn)化的第一步--12英寸晶圓倒片機】近日，由北京自動化技術研究院自主研發(fā)的首臺12英寸晶圓倒片機設備進入中芯國際北京B1進行驗證。通過北京自動化技術研究院全體員工的努力和中芯國際的大力支持，截止發(fā)稿日期，順利完成了機臺的安裝調試工作，實現(xiàn)了sorter的主要功能。