來源：網(wǎng)絡(luò) 2012-9-2 關(guān)鍵詞：工業(yè)自動化 壓力傳感器 傳感技術(shù)　　MEMS壓力傳感器是基于 MEMS(微機電)技術(shù)，建立在微米/納米基礎(chǔ)上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應(yīng)變計，這樣制造的壓力傳感器具有輸出靈敏度高，性能穩(wěn)定，批量可靠性、重復(fù)性好等優(yōu)點。下面從傳感器的制作工藝、結(jié)構(gòu)兩方面分析一下MEMS壓力傳感器綜合性能。　　先進的制作工藝　　經(jīng)500℃