來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 2012-8-4 關(guān)鍵詞:自動(dòng)化 PSD 微位移傳感器 建?! ≌簽榱苏_反映基于光電位置敏感器(PSD)的微位移傳感器的特性,首先介紹了一維光電位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD結(jié)合光學(xué)三角測(cè)量法將位移信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)的工作原理,得出基于PSD的微位移傳感器被測(cè)試件位移量與相關(guān)測(cè)量電路輸出電壓(S,V)關(guān)系特征,然后基于最小二乘估計(jì)算法基本原理,提出了運(yùn)用MAT