【ZiDongHua 之方案應(yīng)用場(chǎng)收錄關(guān)鍵詞：歐姆龍 SEMI FPD 傳感器 機(jī)器人 半導(dǎo)體行業(yè) 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈  SEMI行業(yè)解決方案 FPD行業(yè)解決方案】

  企業(yè)動(dòng)態(tài) | 歐姆龍攜SEMI/FPD行業(yè)解決方案亮相SEMICON China 2023，新科技賦能“芯”未來(lái)！

時(shí)隔兩年，半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)——SEMICON China 2023于6月29日-7月1日在上海新國(guó)際博覽中心盛大重啟。展會(huì)匯聚了半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的設(shè)備、材料及自動(dòng)化廠(chǎng)商，展示了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的前沿技術(shù)和成果。

作為在自動(dòng)化領(lǐng)域深耕90年的自動(dòng)化專(zhuān)家，歐姆龍?jiān)诎雽?dǎo)體行業(yè)持續(xù)開(kāi)拓，積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。為解決半導(dǎo)體行業(yè)課題，我們以AI、機(jī)器人、數(shù)字化等核心技術(shù)為基礎(chǔ)，提出全新進(jìn)化、貼合市場(chǎng)需求的SEMI/FPD行業(yè)解決方案，在本屆SEMICON上與全球觀眾共享！




連續(xù)三天，歐姆龍展臺(tái)人潮涌動(dòng)，高溫和暴雨也無(wú)法阻擋“半導(dǎo)體人”的熱情。新老朋友相聚展臺(tái)暢談，共同品鑒歐姆龍SEMI/FPD行業(yè)解決方案，在交流中碰撞出新的火花，展望合作共贏的未來(lái)。



 

SEMI/FPD行業(yè)解決方案

歐姆龍圍繞不斷進(jìn)化的i-Automation!理念新型制造的3個(gè)方向，即“超越人的自動(dòng)化”“人機(jī)的高度協(xié)作”“數(shù)字工程革新”，在SEMICON上展示超尖端的解決方案和SEMI/FPD制造行業(yè)的革新應(yīng)用。


在“超越人的自動(dòng)化”方面，我們以高速、高精度的控制應(yīng)用技術(shù)為基盤(pán)，運(yùn)用IoT、AI和機(jī)器人技術(shù)，將生產(chǎn)環(huán)節(jié)所涉及的各類(lèi)作業(yè)、業(yè)務(wù)全部交由機(jī)器完成，讓全流程自動(dòng)化成為現(xiàn)實(shí)。

 

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溫度均一技術(shù)在SEMI勻膠顯影機(jī)上的應(yīng)用

熱處理工藝中溫度控制的好壞會(huì)對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率產(chǎn)生很大的影響。以往的控制技術(shù)很難控制升溫過(guò)程中工件溫度的偏差。以半導(dǎo)體行業(yè)為例，存在著因溫度偏差導(dǎo)致成品率不穩(wěn)定、多點(diǎn)溫度設(shè)置需要通過(guò)復(fù)雜的調(diào)節(jié)流程等課題。
歐姆龍自主開(kāi)發(fā)的“工件溫度均一技術(shù)(已申請(qǐng)專(zhuān)利)”可將工件及其附近的溫度偏差降低70%以上(本公司數(shù)據(jù))，提高產(chǎn)品品質(zhì)。此外，溫度特征量自動(dòng)生成技術(shù)，即使有數(shù)十個(gè)以上的加熱點(diǎn)，也能精確地調(diào)整溫度，無(wú)需人工干預(yù)。

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「On the fly」多軸飛控技術(shù)
 在SEMI激光加工上的應(yīng)用

智能手機(jī)和電動(dòng)汽車(chē)的普及，對(duì)電子元件的需求與日俱增。激光加工是電子元件的生產(chǎn)工藝之一，傳統(tǒng)方法中，平臺(tái)移動(dòng)和振鏡控制是順序執(zhí)行的，即執(zhí)行“分步重復(fù)”處理，重復(fù)操作的移動(dòng)和停止降低了生產(chǎn)效率。

為提高高精度加工的速度，歐姆龍將所有設(shè)備的控制整合，在同一個(gè)控制器中實(shí)現(xiàn)連續(xù)激光加工。通過(guò)歐姆龍可編程多軸運(yùn)動(dòng)控制器（PMAC）高性能CPU進(jìn)行集中控制，可確保多軸控制同步，同時(shí)通過(guò)頻譜反褶積法實(shí)現(xiàn)滿(mǎn)足執(zhí)行器的指令分配。與傳統(tǒng)的“分步重復(fù)”相比，處理時(shí)間縮短了約35％，產(chǎn)能得到突破性的提升。

通過(guò)歐姆龍可編程多軸運(yùn)動(dòng)控制器，賦予平臺(tái)納米級(jí)的定位精度和控制性能，可實(shí)現(xiàn)高精密測(cè)量、高精密加工、微進(jìn)等，助力實(shí)現(xiàn)超精密工字型運(yùn)動(dòng)，誤差≤0.2μm。例如，應(yīng)用于晶圓AOI檢測(cè)，平臺(tái)需要實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)快速點(diǎn)定位、勻速下的極小速波動(dòng)、高倍顯微鏡下Z軸高動(dòng)態(tài)跟隨追焦等關(guān)鍵要求，通過(guò)歐姆龍可編程多軸運(yùn)動(dòng)控制器的超高速響應(yīng)，PWM控制及歐姆龍自主研發(fā)的高度跟隨核心技術(shù)，提供了更精確的檢測(cè)效果，賦能晶圓激光隱切、AOI晶圓檢測(cè)。

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不間斷高速檢查

在外觀檢測(cè)方面，以往的停頓檢查雖然位置精度高，但是拍攝速度慢；以往的連續(xù)拍攝速度提升了，但是位置精度過(guò)低。

歐姆龍的不間斷高速檢查技術(shù)，有效解決了檢查停頓的課題，提高生產(chǎn)性，畫(huà)像檢查節(jié)拍時(shí)間縮短70%。另一方面，該技術(shù)可以在保證拍攝速度的同時(shí)，準(zhǔn)確拍攝到高速旋轉(zhuǎn)的二維碼并識(shí)別。


“人機(jī)的高度協(xié)作”旨在兼顧員工工作成就感和工作效率，靈活運(yùn)用歐姆龍高度融合的人員動(dòng)作的傳感技術(shù)、機(jī)器人、安全設(shè)備，實(shí)現(xiàn)此前難以達(dá)到的人機(jī)無(wú)縫銜接。
 

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移動(dòng)操縱機(jī)器人應(yīng)用（MoMA）

 “移動(dòng)操縱機(jī)器人應(yīng)用（MoMA）”即在移動(dòng)機(jī)器人上搭載協(xié)作機(jī)器人，兼具LD的移動(dòng)敏捷性與臂式協(xié)作機(jī)器人的操作性的綜合解決方案。除了使用LD自動(dòng)搬運(yùn)物品之外，還能使用臂式協(xié)作機(jī)器人自動(dòng)裝卸物品。MoMA可運(yùn)用于晶圓盒搬運(yùn)，改變?nèi)斯ぐ徇\(yùn)的方式，節(jié)省人力，加快效率，推動(dòng)制造現(xiàn)場(chǎng)向更智能化和柔性化發(fā)展。

“數(shù)字工程革新”為“超越人的自動(dòng)化”、“人機(jī)的高度協(xié)作”提供支持，聚焦工程鏈中設(shè)計(jì)、啟動(dòng)、維護(hù)環(huán)節(jié)的人工作業(yè)，用數(shù)字空間再現(xiàn)制造現(xiàn)場(chǎng)及設(shè)備，為業(yè)務(wù)流程的革新貢獻(xiàn)力量。
 

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數(shù)字化預(yù)測(cè)性維護(hù)

控制柜內(nèi)設(shè)備、接線(xiàn)數(shù)量不斷增加，使得檢測(cè)部位增多，而熟練保養(yǎng)人員卻在減少，無(wú)法實(shí)時(shí)對(duì)溫度進(jìn)行測(cè)量。
應(yīng)對(duì)設(shè)備事故引發(fā)的商業(yè)損失風(fēng)險(xiǎn)，無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備老化、異常，熟練保全員的缺乏等課題，歐姆龍將工匠技藝數(shù)字化，通過(guò)信息化元器件，實(shí)現(xiàn)不依賴(lài)熟練工的預(yù)兆保全，異常征兆0錯(cuò)漏。


本屆SEMICON已落下帷幕，歐姆龍將堅(jiān)持以AI、機(jī)器人、數(shù)字化等核心技術(shù)為基礎(chǔ)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供數(shù)智化解決方案，為中國(guó)SEMI/FPD行業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量。