【國內首個“IC設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺”順利通過驗收】長期以來我國IC設備生產企業(yè)普遍面臨關鍵零部件采購成本高等問題。沈陽IC裝備產業(yè)園聯(lián)合沈陽自動化所等單位，圍繞IC設備金屬類零部件高效精密加工等8個課題展開技術攻關與平臺建設，突破了一系列技術難題。