來源：網(wǎng)絡(luò) 2012-8-18 關(guān)鍵詞：工業(yè)自動化 傳感技術(shù) 壓力傳感器　　在壓力傳感器的微細加工技術(shù)中要求在樣品背面的掩膜上光刻出壓力腔窗口的圖形而且與正面圖形嚴(yán)格對準(zhǔn)。待別是在設(shè)計時必須將力敏電阻安排在膜內(nèi);有時離開膜邊的距離僅為30P”。正反圖形錯開時，力敏電阻條對壓力靈敏度響應(yīng)便不對稱，甚至有時有可能移到膜外，對壓力便無響應(yīng)。這種錯位既可以有平移錯動，也可以有角度錯開。一般要求